+7 (800) 200-80-27
Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. *Величины и единицы измерений см. 01.060 *Химические эталонные материалы см. 71.040.30
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике